牛津仪器无窗能谱Extreme

X-Max Extreme新硅漂移探测器是能谱探测器领域的又一突破，为高分辨率FEG-SEM的应用及常规的微米和纳米尺度分析提供了新的解决方案。

X-Max Extreme是100mm2无窗版本的X-Max，可显著地提高灵敏度和空间分辨率。 它采用了优化的径向几何设计，可实现在高分辨场发射扫描电镜的低电压及小工作距离条件下同时采集图像和能谱。X-Max Extreme可实现能谱的分辨率达到相应扫描电镜的分辨率。

•SEM-EDS高空间分辨率

FEG-SEM中优于10nm的元素表征

•材料表面表征灵敏度高

SEM中表征材料表面

•低电压下进行材料鉴定

低至1千伏材料表征

•快速准确的纳米尺度表征

快速采集并实时数据处理大块样品

•轻元素灵敏度

锂、氮和氧等轻元素的检测提高至新水平

技术背景

X-Max Extreme是高分辨率FEG-SEM应用的一个突破性的解决方案。这种独特的探测器一次实现EDS在低电压(例如1-3kV)及很短的工作距离条件下采集信号来进行元素分析，而用户通常在该条件下进行纳米材料或材料表面的形貌观察。

新的高分辨率FEG-SEM为研究更小尺度纳米结构、界面和表面提供了全新的解决方案。然而,在短工作距离、低电压和束流条件下，其虽然能够在棱镜内探测器获得电子信号，却没有响应的能谱以进行元素表征。新X-Max Extreme改变了这种状况，它专为在这类参数条件下工作而设计:

•独特的几何设计

为在更短的工作距离下工作而设计

为传统侧插能谱探头设计的大立体角——通常比X-MaxN150 立体角大5倍而传感器到样品距离仅为正常距离的一半

•无窗下工作

结合立体角，相比其他大面积探头，对低能X射线探测灵敏性可提高10-30倍

•新的探头电子器件大地提高了低能量X射线，同时扩展了更高计数下的低能量分析性能

•AZtecEnergy与新低电压Tru-Q分析引擎整合为一体，实现低电压下数据处理及分析

为低电压下的谱峰剥离而改进的TruMap

为了实现这种独特的几何设计，X-MaxExtreme非圆形100平方毫米传感器和无窗的设计已经成功地用于X-MaxN 100TLE，以优化TEM中的灵敏度。除了探测器特性之外，小尺寸电子陷阱设计使得探测器可以在7kV电压下工作。