牛津仪器X-Max电制冷能谱仪
仪器简介：
X-MaxN 的晶体尺寸从适合于微米分析的20 mm2到纳米材料分析专用150 mm2的共四种可选。尤其是150 mm2为当今晶体面积大的探测器，分析速度至少是普通探测器的两倍。
总览
•探测器晶体尺寸可选，分别为150 mm2，80 mm2，50 mm2，20 mm2
•无论晶体面积或大或小，X-MaxN 的分辨率始终如一的好——并符合标准ISO15632:2012
•无论晶体尺寸如何，能谱仪外管尺寸及在电镜中的位置完全一致，确保相同条件下，计数率的增加只源于晶体尺寸的增加
•强大的低能端分析，所有晶体面积的能谱仪均保证由Be开始
•与上一代X-Max同，无论SEM或FIB均使用同一界面
•无论晶体面积如何，优异的性能始终如一
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X-MaxN 的晶体面积有20mm2, 50mm2, 80mm2 and 150mm2 –其中150mm2 是当今晶体面积大的能谱仪
•因其独特地外置型FET场效应管设计，X-MaxN 的分辨率完全不受晶体面积变化的影响始终如一，且保证全部具有优异的低能端检测性能
•探测器外管尺寸相同，意味着相同条件下，计数率仅与晶体面积有关
•保证所有晶体面积的能谱仪均具有优异的能量分辨率
•出众的低能端分析性能，保证所有尺寸的能谱仪皆可探测到Be元素
•使用大面积能谱仪意味着：
•低束流下有足够的计数率
•尽可能高的实现图像的可视性及准确性
•无需为能谱分析改变SEM的条件
•在相同束流下，大提高计数率
•缩短采集时间
•统计性更高
•实现小束斑下的能谱分析
•提高能谱检测的空间分辨率
•尽可能体现高分辨电镜的优势
•晶体面积越大，X-射线计数效率越高
相同条件下，晶体面积越大：
•以前需要几分钟完成的工作，现在仅需要几秒钟——面/线分布更易获得
•采集时间相同，可大地提高分析精度及统计性
•大面积能谱仪——快速获得所有显微分析结果
优异的低能端分析性能
X-MaxN 为低能端元素的分析做了巨大的优化——无论何种尺寸，均表现出优异的低能端分析性能
•所有尺寸的能谱仪均可保证检测到Be，可获得SiLI峰的面分布
•超大面积的能谱仪——均具有优异的低能端分析性能
•优异的空间分辨率
高空间分辨率，X射线扩展区域更小
•大面积能谱仪可以在低加速电压及低束流下采集X-射线
•纳米尺度的特征可以更好的被检测到
•超大面积的能谱仪——使纳米分析成为可能
•150 mm2 的能谱仪比小晶体面积的优势在哪里？
举例为证。加速电压20kV，束流不到2nA时，150 mm2 的能谱仪每秒即可输出200,000的计数。而使用10 mm2 的能谱仪时，需要近20nA下才可达到相同的计数率。
•下图显示不同束流下的典型计数率，20kV下分析纯Mn时，探测器检出角30°且距样品45mm。使用大面积能谱仪，无需增加束流即可大地放大计数率。也就是说在低束流下，保证高空间分辨率及低辐照损伤的同时可以获得足够多的计数。左图显示束流增加对改善图像质量的影响。