日立台式大气压扫描电镜AeroSurf 1500
创新点；
上市时间：2016年7月
不仅可在真空下，还可在大气压下进行SEM观察，含水样品也无需前处理即可直接观察。是目前市面上一款大气压模式下观测的扫描电镜，免去了了生物，食品，化妆品等样品复杂的前处理过程，同时还能观察样品的原始形貌。
产品简介：
含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察
* 从低真空到大气压（数 Pa～105 Pa），可在大范围压力下进行SEM观察
* 标准搭载ES-Corrector（电子束散射校正）图像改善功能
* 在真空模式下，除了通常的SEM观察之外，还可进行EDX分析（选配）
* 主机采用330 mm宽度的小型设计，实现节省空间和高便利性
* 无需等待抽真空时间，快速实现从搭载样品到观察图像的全过程
概要
大气压观察（图1）
•（a）.样品设置在标准大气压环境下（105 Pa）
•（b）.配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离，在保持SEM内部真空的同时，可对样品进行电子束照射观察
•（c）.而且，可通过附带的真空泵在负压下（约103～105 Pa）进行观察
低真空观察（图2）
•（a）.隔膜可拆卸，还可进行低真空SEM观察和EDX分析
•（b）.搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器
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目 |
内容 |
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电子枪 |
预对中灯丝 |
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检测系统 |
高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器 |
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加速电压 |
5 kV/15 kV |
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倍率 |
×15～×60,000（使用数码变焦时：×240,000） |
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观察压力 |
大气压模式（105 Pa）（装有隔时） 负压模式（约103 Pa～105 Pa）（装有隔膜时） 低真空模式（数Pa～数10 Pa）（拆下隔膜时） |
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大样品尺寸 |
直径55 mm |
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大小和重量 |
主机：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手动操作台） 控制装置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2台 |