日立台式大气压扫描电镜AeroSurf 1500

创新点；

上市时间：2016年7月

不仅可在真空下，还可在大气压下进行SEM观察，含水样品也无需前处理即可直接观察。是目前市面上一款大气压模式下观测的扫描电镜，免去了了生物，食品，化妆品等样品复杂的前处理过程，同时还能观察样品的原始形貌。

产品简介：

 含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察

* 从低真空到大气压（数 Pa～105 Pa），可在大范围压力下进行SEM观察

* 标准搭载ES-Corrector（电子束散射校正）图像改善功能

* 在真空模式下，除了通常的SEM观察之外，还可进行EDX分析（选配）

* 主机采用330 mm宽度的小型设计，实现节省空间和高便利性

* 无需等待抽真空时间，快速实现从搭载样品到观察图像的全过程

概要

大气压观察（图1）

•（a）.样品设置在标准大气压环境下（105 Pa）

•（b）.配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离，在保持SEM内部真空的同时，可对样品进行电子束照射观察

•（c）.而且，可通过附带的真空泵在负压下（约103～105 Pa）进行观察

低真空观察（图2）

•（a）.隔膜可拆卸，还可进行低真空SEM观察和EDX分析

•（b）.搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器