日立高新扫描电子显微镜SU3500
日立高新高画质的钨灯丝扫描电镜SU3500, 图象质量更进一步。
通过高画质提升扫描电镜的分析能力和操作性, 凝聚日立先进科技。
日立高新钨灯丝扫描电镜SU3500具有实现了“3kV加速电压7nm分辨率”的全新电子光学系统, 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”＊1, 以及更高检测效率的 “UVD高灵敏度可变压力检测器”＊1。
它为观察和分析提出了新的标准。
*1：自选
特点
•低加速电压观察时分辨率更高，可更好地观察样品表面的细微形状和更有效地降低样品的损坏
•全新设计的电子光学系统和信号处理技术实现了高速扫描和低噪音的观察
•和以前的常规扫描电子显微镜相比＊2，自动功能缩短＊3了大约11秒
•具有在低真空时可以非常好地观察样品表面的细微形状的“UVD（高灵敏度可变压力探测器）”＊4
•具有实现了实时立体成像的“实时立体观察功能”＊4
（*2）：和日立SEM S-3400N相比
（*3）：根据观察条件的不同，时间会有变动
（*4）：自选
规格
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项目 |
描述 |
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二次电子分辨率 |
3.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm高真空模式） |
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7.0nm（加速电压=3kV，WD=5mm高真空模式） |
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背散射电子分辨率 |
4.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm低真空模式） |
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10.0nm（加速电压=5kV，WD=5mm高真空模式） |
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放大倍率 |
5 - 300,000倍（底片倍率＊5） |
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7 - 800,000倍（显示器显示倍率＊6） |
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加速电压 |
0.3 - 30kV |
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可变压力范围 |
6 - 650Pa |
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大样品尺寸 |
直径 200mm |
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样品台 |
X |
0 - 100mm |
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Y |
0 - 50mm |
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Z |
5 - 65mm |
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R |
360° |
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T |
-20° - 90° |
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可观察区域 |
直径 130mm （旋转并用） |
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大样品高度 |
80mm（WD=10mm） |
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马达台 |
5轴标配 |
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电子光学系统 |
电子枪 |
预对中的钨灯丝 |
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物镜光阑 |
4孔可动光阑 |
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探检测器 |
埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器 |
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高灵敏度半导体背散射电子检测器 |
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EDX分析 WD |
10mm（取出角35°） |
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图像显示 |
操作系统 |
Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知） |
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图像显示模式 |
全屏模式（1,280 × 960 像素） |
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小屏模式（800 × 600 像素） |
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双图像显示（800 × 600 像素） |
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四屏幕显示（640 × 480像素） |
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信号混合模式 |
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排气系统 |
操作 |
全自动排气 |
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涡轮分子泵 |
210升/秒 × 1 |
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机械泵 |
135L/min（162L/min，60Hz）× 1 |
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（*2）：以127mm×95mm（图像尺寸4"×5"）的显示尺寸规定倍率
（*3）：以345mm×259mm（像素1,280×960）的显示尺寸规定倍率
（*4）：Windows®是微软公司在美国和其他国家的注册商标