奥林巴斯工业激光共焦显微镜 LEXT OLS4100

奥林巴斯工业激光共焦显微镜 LEXT OLS4100 (NEW!)

提供全新的3D形貌分析方案

 好的测量

更大的样品范围

轻松检测85° 尖锐角

采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能大限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以准确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。

由于采用405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜，OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法，例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线（请参阅第23 页），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

OLS4100 采用了双共焦系统，结合高灵敏度的探测器，那些具有不同反射率材料的样品，也能在OLS4100 上获得鲜明的影像。

适用于透明层

多层模式

LEXT OLS4100 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域，并将各层设为焦点，这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量，而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。

观察／测量透明材料的各个层

 多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层，也可测量出各层的形状和粗糙度以及表面覆膜的厚度。

工业领域 的两项性能保证

通常表示测量仪器的测量精度的，有2 个指标："正确性"，即测量值与正确值的接近程度，和"重复性"，即多次测量值的偏差程度。OLS4100 是业界首先同时保证了"正确性"和"重复性"的激光扫描显微镜。

OLS4100 从物镜制造到成品全部在奥林巴斯工厂内完成，并按照一系列严格的标准进行全面的检验并确保产品的质量后方才出厂 。交付产品时，由选拔出来的技术人员，在实际使用环境中执行校正和调整。

更准确的粗糙度测量

LEXT OLS4100 参数

作为表面粗糙度测量的新标准，奥林巴斯开发了LEXT OLS4100。对LEXT OLS4100 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样，对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说，能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外，还搭载了粗糙度专用模式，可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离长为100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有与接触式表面粗糙度测量仪相同的表面轮廓参数，因此具有相互兼容的操作性和测量结果。

适应下一代参数
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）参数。通过评估平面区域，可以进行高可靠性的分析。